近日，浙江省科技廳公布了2021年度省重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃擬立項(xiàng)項(xiàng)目清單，全省共8個(gè)項(xiàng)目被列入進(jìn)口替代應(yīng)急攻關(guān)計(jì)劃，我市占據(jù)兩席，位居全省第二,爭(zhēng)取到項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)600萬元。這兩個(gè)項(xiàng)目分別是由浙江中寧硅業(yè)有限公司承擔(dān)的“集成電路-高純四氟化硅氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化研究”項(xiàng)目和浙江凱圣氟化學(xué)有限公司承擔(dān)的“超純氨水關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)”項(xiàng)目。近年來，隨著中美貿(mào)易摩擦的加劇和美國(guó)對(duì)我國(guó)高科技產(chǎn)業(yè)打壓的進(jìn)一步升級(jí)，國(guó)內(nèi)企業(yè)發(fā)展受到了嚴(yán)重沖擊。我國(guó)加快關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，解決進(jìn)口替代問題，建立自主創(chuàng)新體系已經(jīng)到了刻不容緩的地步。黨的十八大以來，以習(xí)近平同志為核心的黨中央高度重視科技創(chuàng)新工作。黨的十九屆五中全會(huì)對(duì)科技自立自強(qiáng)作出戰(zhàn)略部署，發(fā)出了加快建設(shè)科技強(qiáng)國(guó)的沖鋒號(hào)和最強(qiáng)音。加快科技創(chuàng)新發(fā)展，關(guān)鍵要堅(jiān)持問題導(dǎo)向和需求導(dǎo)向，瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈“卡脖子”技術(shù)問題，持續(xù)用力破除制約科技創(chuàng)新發(fā)展的關(guān)鍵瓶頸和突出問題。我局積極貫徹落實(shí)上級(jí)決策部署，高度重視關(guān)鍵核心技術(shù)的攻關(guān)，提前謀劃，精準(zhǔn)布局。在2021年省級(jí)重點(diǎn)研發(fā)項(xiàng)目申報(bào)項(xiàng)目啟動(dòng)之前，我局通過部門協(xié)同，市、縣聯(lián)動(dòng)，迅速開展“卡脖子”技術(shù)和進(jìn)口替代技術(shù)需求摸排。針對(duì)我市制造業(yè)產(chǎn)業(yè)集群相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵技術(shù)、關(guān)鍵材料、關(guān)鍵零部件、關(guān)鍵產(chǎn)品等，摸排突出斷供風(fēng)險(xiǎn)或潛在斷供風(fēng)險(xiǎn)。重點(diǎn)支持有基礎(chǔ)、有條件、有優(yōu)勢(shì)的企業(yè)和研發(fā)機(jī)構(gòu)開展科研攻關(guān)，力爭(zhēng)在短期內(nèi)能取得替代國(guó)外進(jìn)口實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代和整機(jī)配套的技術(shù)（成果）。通過精準(zhǔn)摸排，推薦浙江中寧硅業(yè)有限公司、浙江凱圣氟化學(xué)有限公司積極申報(bào)省進(jìn)口替代應(yīng)急攻關(guān)計(jì)劃。浙江中寧硅業(yè)有限公司承擔(dān)的“集成電路-高純四氟化硅氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化研究”項(xiàng)目，旨在通過關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，實(shí)現(xiàn)高純四氟化硅氣體國(guó)產(chǎn)化。高純四氟化硅氣體是半導(dǎo)體集成電路行業(yè)中的一種重要原料，目前工業(yè)化生產(chǎn)主要在美國(guó)和日本，如美國(guó)的聯(lián)合化學(xué)公司，日本的關(guān)東電化公司以及昭和電工化學(xué)公司，國(guó)內(nèi)高純四氟化硅氣體100%依賴進(jìn)口。浙江中寧硅業(yè)有限公司自2018年開始經(jīng)過近三年的研究開發(fā)，已經(jīng)基本打通高純四氟化硅氣體的技術(shù)路線。經(jīng)過該項(xiàng)目的實(shí)施，高純四氟化硅氣體可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)能300噸，純度達(dá)到5N以上，打破國(guó)外壟斷，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代。浙江凱圣氟化學(xué)有限公司承擔(dān)的“超純氨水關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)”項(xiàng)目，旨在通過關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，實(shí)現(xiàn)12吋硅晶圓制造時(shí)使用的超純氨水的國(guó)產(chǎn)化。超純氨水主要用于集成電路制造過程中的芯片清洗，是電子化工材料的重要組成部分。目前工業(yè)化生產(chǎn)主要在德國(guó)和日本，如德國(guó)的巴斯夫，日本的三菱瓦斯，國(guó)內(nèi)UP-S級(jí)以上氨水基本依賴進(jìn)口。浙江凱圣氟化學(xué)有限公司在原有電子級(jí)氨水生產(chǎn)技術(shù)基礎(chǔ)上，通過兩年多的技術(shù)攻關(guān)，超純氨水可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)能5000噸，產(chǎn)品品質(zhì)基本達(dá)到UP-SS級(jí)，突破國(guó)外技術(shù)堡壘，加速國(guó)產(chǎn)化步伐。
（來源：衢州市科技局）
